První zařízení
SHM, s.r.o. navazuje na svou dlouholetou tradici v konstrukci povlakovacích zařízení, které byly na počátku firmy a které vycházejí z konceptu rotačních, válcových katod. Jsme schopni upgradovat stávající zařízení o nové technologie, ale také postavit zcela nová jak pro průmyslové využití, tak i pro výzkumné účely.
IONA
Nově postavené průmyslové povlakovací zařízení IONA představuje výsledek dlouholetého vývoje týmu SHM v oblasti PVD technologií. Kombinuje technologie obloukového napařování (arc evaporation) a magnetronového naprašování (magnetron sputtering) v jednom povlakovacím cyklu, čímž propojuje výhody obou depozičních metod – vysokou hustotu iontů generovanou obloukovým výbojem a rovnoměrnou depozici vrstev dosažitelnou magnetronem. Naše technologie je postavena na rotačních válcových katodách s velmi efektivním chlazením, díky kterému dosahuje jednak vysokých proudů na obloukových katodách (až 300 A) a zároveň vysokých výkonů na magnetronových katodách (až 40 kW). Výsledkem jsou zejména vysoké depoziční rychlosti, avšak i vysoká plošná výkonová hustota u magnetronových terčů (až 450 W/cm2), která se ukázala jako zásadní pro výslednou kvalitu magnetronových vrstev. V tomto směru se vyrovnáme technologii HiPIMS (High Power Impulse Magnetron Sputtering), aniž bychom tratili na rychlosti růstu a zároveň nejsme omezení komplikovaným řízením zdrojů HiPIMS a o ceně ani nemluvě. Jedno z těchto zařízení je umístěno také na Univerzitě obrany v Brně.
DYNA
Laboratorní zařízení vlastní konstrukce pro výzkum experimentálních povlaků. V komoře se nachází planární magnetronová katoda s excentricky rotačním magnetickým polem pro dosažení větší efektivní plochy odprašování.
SHREK
Výzkumné zařízení slouží pro vývojové projekty jak firmy, tak i našich partnerů. Díky nainstalované průmyslové komoře je přenos do výroby plynulý bez nutnosti přechodné fáze vycházející z rozdílných komor. Oproti standardnímu výrobnímu průmyslovému zařízení však nabízí mnohem větší míru flexibility po stránce hardwaru i softwaru. Na tomto zařízení jsme ve spolupráci s Masarykovou univerzitou vyvinuli unikátní ternární vrstvy na bázi MeBC, ale i tenké vrstvy na bázi kovových skel (Thin Film Metallic Glasses), které úspěšně nacházejí uplatnění například v průmyslu zpracování polymerů.
Pro další informace kontaktujte
Mgr. Vjačeslav Sochora, Ph.D.
vedoucí V&V
sochora@shm-cz.cz
+420 778 726 564