PVD technologie
VaV centrum

PVD technologie SHM je založena na originálním uspořádání povlakovací komory využívající rotační válcové katody. Tato  technologie je využita jak na povlakovacích zařízeních ORM vyvinutých v rámci SHM, tak i na zařízeních typu „π“ (π80, 111, 300, 311, 411) vyvinutých a vyráběných pro komerční prodej šumperskou společností PLATIT a.s. (dříve PIVOT a.s. do roku 2013 spoluvlastněná SHM) a prodávaných švýcarskou společností PLATIT AG.

Způsob použití rotačních katod je aplikován jak na technologii napařování nízkonapěťovým obloukem (povlaky typu MARWIN, ALWIN, TripleCoating aj.) tak i na technologii magnetronového  naprašování  (povlaky typu DARWIN).

Princip rotačních katod umožňuje optimální  uspořádání  celého depozičního systému v povlakovací komoře. Depoziční systém se skládá až ze 4 odlišných materiálů, které lze během nanášení povlaku libovolně kombinovat. Rovnoměrný pohyb magnetického pole vůči povrchu katody umožní použít pro řízení pohybu oblouku silnějšího magnetického pole. Pohyb nástrojů v povlakovací komoře je  optimalizován z hlediska růstu vhodné struktury povlaku. Technologie přináší řadu výhod a originálních přínosů:

  • Hladký povlak s minimalizovaným obsahem makročástic je dosažen díky rychlému pohybu katodové skvrny v silném magnetickém poli
  • Rovnoměrná eroze odpařovaných elektrod
  • Příprava nanokompozitních povlaků je možná díky vysoké ionizaci plazmatu s Þ vytvoření dvou fází, (např. nc- (TiAl)N/a-Si3N4 nebo nc- (CrAl)N/a-Si3N4).
  • Díky využití unikátního uspořádání vakuové komory s válcovými rotačními elektrodami a synchronizací rotace nástrojů lze optimalizovat strukturu povlaku včetně moderních nanovrstevných struktur
  • Zásluhou válcového tvaru elektrody je dosaženo maximální využití její efektivní šířky – d x π.
  • Snadná příprava širokého sortimentu povlaků bez nutnosti výměn elektrod
  • Vysoká rychlost růstu

 

Většina povlaků  ve firmě SHM je připravována pomocí obloukové technologie.  Velmi hladké povlaky připravuje SHM pomocí centrálního rotačního magnetronu s patentovaným způsobem řízení procesu.  Oproti konkurenci nabízí tento způsob přípravy povlaků několik výhod:

 

  • Možnost přípravy vrstev na bázi karbonitridů
  • Možnost přípravy nanokompozitních vrstev TiC/C
  • Jednoduchý a spolehlivý způsob řízení procesu
  • Možný souběh s obloukovým  napařováním
  • Vysokou rychlost růstu povlaků
  • Velmi nízkou drsnost povlaku při zachování vynikající adheze