Technologia PVD
Centrum badawczo-rozwojowe

Technologia PVD SHM jest oparta na oryginalnym układzie komory powlekania, w której wykorzystano cylindryczne katody obrotowe. Technologię tę wykorzystano zarówno w urządzeniach do powlekania ORM, rozwijanych w ramach SHM, jak i w urządzeniach typu “π” (π80, 111, 300, 311, 411) rozwijanych i produkowanych komercyjnie w firmę PLATIT a.s. (poprzednio PIVOT a.s.), przeznaczonych do sprzedaży przez szwajcarską firmę Platit AG.

Sposób użycia katod obrotowych wykorzystano zarówno w technologii naparowywania niskonapięciowego (powłoki typu MARWIN, ALWIN, TripleCoating i in.), jak i w technologii napylania magnetronowego (powłoki typu DARWIN).

Zasada katod obrotowych umożliwia optymalne umieszczenie całego systemu nanoszenia w komorze powlekania. System nanoszenia składa się aż z 4 różnych materiałów, które można w dowolny sposób łączyć przy osadzaniu powłok. Równomierny ruch pola magnetycznego w stosunku do powierzchni katody umożliwia wykorzystanie silniejszego pola magnetycznego do sterowania ruchem łuku. Ruch narzędzi w komorze powlekania jest zoptymalizowany z punktu widzenia wzrostu odpowiedniej struktury powłoki. Technologia oferuje szereg korzyści i wyjątkowych zalet:

  • Dzięki szybkim ruchom plamki katodowej w silnym polu magnetycznym można osiągnąć gładką powłokę z minimalną zawartością makrocząsteczek
  • Równomierna erozja odparowywanych elektrod
  • Przygotowanie powłok nanokompozytowych jest możliwe dzięki wysokiej jonizacji plazmy z Þ wytworzenia dwóch faz, (np. nc- (TiAl)N/a-Si3N4 lub nc- (CrAl)N/a-Si3N4).
  • Dzięki zastosowaniu unikalnego systemu komory próżniowej z cylindrycznymi elektrodami obrotowymi i synchronizacji obrotu narzędzi można zoptymalizować strukturę powłok, włącznie z nowoczesnymi strukturami nanowarstwowymi
  • Użycie elektrody o cylindrycznym kształcie umożliwia maksymalne wykorzystanie jej efektywnej szerokości – d x π.
  • ‎‎Łatwe przygotowanie szerokiego asortymentu powłok bez konieczności wymiany elektrod
  • Duża prędkość wzrostu

 

Większość powłok w firmie SHM jest przygotowywanych w technologii łuku elektrycznego.  SHM przygotowuje bardzo gładkie powłoki przy pomocy centralnego magnetronu obrotowego z opatentowaną metodą sterowania procesem.  W porównaniu z konkurencją ten sposób przygotowania ma kilka zalet:

  • Możliwość przygotowania warstw na bazie węgloazotków
  • Możliwość przygotowania nanokompozytowych warstw TiC/C
  • Prosta i niezawodna metoda sterowania procesami
  • Możliwość współdziałania z naparowywaniem łukowym
  • Wysoka prędkość wzrostu powłok
  • Bardzo niska chropowatość powierzchni przy zachowaniu bardzo dobrej przyczepności